净化工程主要应用于电子、制药、食品、生物等领域。不同行业的净化系统不同,但这些行业的净化系统可用于其他行业,电子厂的净化系统可用于注塑车间、生产车间等。通常用于食品加工、食品包装材料生产等,空气中到处都有微生物,如牛奶、糕点等食品容易变质。食品无菌车间是通过净化设备,低温贮存食品,高温灭菌,消除空气中的微生物,从而保持食品的营养和口感。电子工厂的清洁度对电子产品的质量有着非常直接的影响。通常采用送风系统,用过滤装置逐层净化空气。工厂各场所的清洁度按清洁度等级进行分类,各区域应达到规定的清洁度等级。
医院系统的洁净室起初用于手术室,我们现在称之为净化工程。起初,由于骨科手术时间长,易引起感染,仅在骨科手术中广泛应用。理想的控制水平是使用操作台附近的空气清洁度达到100级。一般建议使用高效空气过滤系统,该系统的面积至少为3m x 3m,因此包括操作台和人员。洁净室作为医院的重要功能区之一,其工程质量直接影响着医院的使用和病人的治疗。为了提高医院洁净室的工程质量,必须同时注意设计、施工和维护。医院使用广泛的洁净手术室是用空气净化技术取代传统紫外线等手段控制污染的现代化手术室。在洁净的手术室中,病人的感染率可以降低10倍以上,这样可以减少或不使用对病人免疫系统有危害的抗生素。无尘、无菌是洁净手术室的特点。
净化工程的温度和湿度主要根据工艺要求确定,但在满足工艺要求的条件下,应考虑人们的舒适性。随着空气洁净度要求的提高,工艺对温度和湿度的要求越来越严格。对温度的具体工艺要求将在后面列出,但作为一般原则,由于加工精度越来越高,对温度波动范围的要求也越来越小。例如,在大规模集成电路生产的平版曝光过程中,玻璃和硅片作为掩模材料的热膨胀系数的差别越来越小。湿度过高会导致更多问题。当相对湿度超过55%时,冷却水管壁会发生结露。如果发生在精密器件或电路中,会引起各种事故。相对湿度为50%时容易生锈。另外,当湿度过高时,吸附在硅片表面的灰尘会被空气中的水分子化学吸附,很难去除。
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