电子无尘车间静电的控制可分为两类：高湿度实际上减少了无尘车间和洁净室表面静电的积累，是理想的效果。较低的湿度更适合电荷积聚和潜在的破坏性静电释放源。当相对湿度超过50%时，静电荷开始迅速消散，但当相对湿度小于30%时，静电荷可以在绝缘体或不接地表面上存在。

　　相对湿度在35%到40%之间可以作为一个令人满意的折衷方案。电子无尘车间和洁净室一般采用附加的控制装置来限制静电的积聚。随着相对湿度的增加，包括腐蚀过程在内的许多化学反应的速率都会增加。

　　电子无尘车间和洁净室周围暴露在空气中的所有表面都迅速覆盖至少一层水。当这些表面由能与水反应的薄金属涂层组成时，高湿度会加速反应。幸运的是，一些金属，如铝，可以与水形成保护性氧化层，防止进一步氧化;但另一种情况，如氧化铜，不具有保护性，因此铜表面在高湿度环境中更容易受到腐蚀。

　　电子无尘车间的温湿度控制主要是由于其生产工艺的要求：在电子工业中，制造车间是产生静电的重要场所。通常情况下，静电会导致产品短路，甚至导致工作人员导电晕厥事故。因此，电子工业无尘车间的相对湿度不应小于30%，可以减少静电的产生。

　　一般建议无尘车间防静电区域的相对湿度不低于50%。干燥空气过多容易扬尘。电子厂无尘车间无特殊要求，温度控制在22℃左右，相对湿度控制在55%-60%相对湿度。在这种环境中，人们感到舒适，静电消失了。